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工控人家園 綜合討論 超高真空環(huán)境內(nèi)用什么發(fā)熱元件加熱到800度左右，用什么材料精準(zhǔn)測(cè)溫

張平全

為國(guó)出力的時(shí)候到了

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樓主發(fā)表于: 2020-07-12 05:42

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我們做的是晶體生長(zhǎng)行業(yè)超高真空設(shè)備，需要在超高真空4.0E-11Torr環(huán)境內(nèi)把指甲大小，厚度約0.2mm產(chǎn)品加溫到800度左右，普通的發(fā)熱管，發(fā)熱片是不行的，如果有接觸到這類國(guó)外設(shè)備的朋友們，請(qǐng)?zhí)峁﹨⒖?br />由于眾所都知的原因，我們公司已承接到國(guó)家級(jí)的一個(gè)小技術(shù)項(xiàng)目開發(fā)，在國(guó)外這是幾十年前就有的技術(shù)，但國(guó)內(nèi)還處于空白狀態(tài)，我們需要從零開始奮起直追，希望得到以下技術(shù)參考，謝謝

由于在回復(fù)大家的信息過(guò)程中，出現(xiàn)了多次360退出及信息被轉(zhuǎn)移的情況，有些信息我不再回復(fù)祥細(xì)技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)理解

[ 此帖被張平全在2020-07-15 23:40重新編輯 ]

honggun

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1樓發(fā)表于: 2020-07-12 23:17

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加熱的空間多大？一次加熱一片還是一次加熱很多片？

樓主留言：

加熱是個(gè)半圓柱體，腔體內(nèi)空間直徑500毫米，高度約400毫米，搭建的是六個(gè)工位，但都沒(méi)有成功的痕象，包括使用機(jī)器視覺(jué)測(cè)量晶體狀態(tài)的技術(shù)手法都使用了，我們參與后，在原有模式下，我們僅使用一個(gè)工位，做出了OK品，但重復(fù)比例不高，很多是著急，就是無(wú)不精確加熱控溫，團(tuán)隊(duì)目前受困于加熱材料和測(cè)溫手法，期待你更多的支特

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